อุปกรณ์บํารุงผิวของหม้อฉีดพลาสมา
เครื่องทําความสะอาดพลาสมาที่ทันสมัยที่ออกแบบมาสําหรับอุตสาหกรรมครึ่งตัวนําและอุตสาหกรรมออฟโตอิเล็กทรอนิกส์มีเทคโนโลยีพลาสมาแกรนด์เยอรมันและวิศวกรรมความแม่นยําสําหรับการปฏิบัติการด้านผิวที่ดีกว่า.
ภาพรวมสินค้า
เครื่องทําความสะอาดพลาสมาแบบกระจกกระจกนี้ ใช้เทคโนโลยีการเชื่อมต่อแบบอัดแรง และดีเยี่ยมในการแยกท่อไมโครเวฟและส่วนประกอบเหมาะสําหรับการแปรรูปผลิตภัณฑ์ที่อ่อนไหวที่ต้องการมาตรฐานความสะอาดสูง, มันรักษาพลาสติก, วัสดุชีวเคมี, PDMS, แก้ว, เซมคอนดักเตอร์โลหะ, เซรามิค, สารประกอบ, โพลิเมอร์ และวัสดุอื่น ๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อให้เกิดการทําความสะอาดพื้นผิว, การฆ่าเชื้อ,การเสริมความสามารถในการชื้น, การปรับปรุงคุณสมบัติพื้นผิว และความแข็งแรงในการผูกพันที่ดีขึ้น
ลักษณะสําคัญ
- ปรับปรุงให้เหมาะกับการผลิตขนาดเล็กและการนําไปใช้งานในงานวิจัยวิทยาศาสตร์
- การออกแบบที่คอมแพคต์และใช้งานและบํารุงรักษาง่าย
- เทคโนโลยีพลาสมาแกรนด์เยอรมนีเพื่อการทํางานที่น่าเชื่อถือ
- โครงสร้างที่ทนทานต่อการกัดกร่อน สแตนเลส 316 นําเข้า
- การควบคุมการไหลของความแม่นยําด้วยวาล์วเข็มที่นําเข้า
- ช่องทางก๊าซปฏิกิริยาแบบสองกระบวนการ สําหรับการใช้งานหลากหลาย
- ตัวเลือกในการปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะเจาะจง
รายละเอียดเทคนิค
| ปริมาตร |
รายละเอียด |
| ระดับความว่าง |
30Pa-100Pa |
| การไหลของก๊าซ |
0-100ml/s |
| เวลาในการทําความสะอาด |
ปรับได้ (1-9999s) |
| โหมดการเย็น |
ระบบเย็นอากาศ |
| ช่องทางก๊าซ |
ก๊าซทํางาน 2 ด้าน (อาร์กอน ไฮโดรเจน ออกซิเจน ไนโตรเจน อากาศ เป็นต้น) |
| ระบบควบคุม |
PLC + หน้าจอสัมผัส |
| อุณหภูมิช่องว่าง |
< 50 °C |
| ปั๊มดูดฝุ่น |
ปั๊มน้ํามัน / ปั๊มแห้ง (ไม่จําเป็น) |
| พลังงาน |
AC220V ((± 10V) |
อุปกรณ์พิเศษสามารถปรับแต่งได้ตามรูปแบบวัสดุ, ขนาด, และความต้องการความจุในการผลิตที่แตกต่างกัน
ส่วนประกอบของอุปกรณ์
ระบบทําความสะอาดพลาสมาประกอบด้วย 5 ส่วนประกอบหลัก:
- ห้องปฏิกิริยา:ประกอบด้วยห้องว่างและอิเล็กทรอด ให้พื้นที่ปฏิกิริยาพลาสมาสําหรับการประมวลผลของวัตถุ
- ระบบสูญเสีย:ประกอบด้วยเครื่องวัดระยะว่าง, ปั๊มระยะว่าง, และท่อเพื่ออพยพอากาศและรักษาระดับระยะว่างที่ดีที่สุด
- ระบบการปล่อย:จําหน่ายพลังงานเพื่อกระตุ้นการประกอบแก๊สปฏิกิริยา และผลิตพลาสมาที่ต้องการ
- ระบบควบคุมอิเล็กทรอนิกส์:ควบคุมการทํางานของอุปกรณ์ตามปารามิเตอร์กระบวนการที่ดีที่สุดและรักษาความมั่นคง
- ระบบควบคุมการไหลของน้ําดื่ม:ลักษณะของเครื่องวัดการไหลผ่านและซอลีนอยด์วาล์วสําหรับการควบคุมการไหลผ่านของก๊าซที่แม่นยําและการบํารุงรักษาความว่าง
ขั้นตอนการดําเนินงาน
- เปิดประตูห้องสูญเปล่า วางวัสดุสําหรับการประมวลผล และปิดประตูอย่างมั่นคง
- เริ่มใช้งานสวิตช์พลังงานหลัก และตั้งค่าปารามิเตอร์ผ่านอินเตอร์เฟซจอสัมผัส
- อุปกรณ์ดําเนินการโดยอัตโนมัติปริมาตรที่กําหนดไว้ (ระยะว่าง → การรับอากาศ → การปล่อยอากาศ → เต็ม)
- สัญญาณบัซเซอร์เสร็จสิ้นวงจรการประมวลผล
- เปิดประตูห้องและเอาของที่ผ่านการประมวลผล
หลักการของเทคโนโลยีพลาสมา
การนําเสนอพลาสมา
พลาสมาเป็นภาวะที่สี่ของวัตถุ ร่วมกับของแข็ง น้ําเหลว และก๊าซ โดยใช้อนุภาคพลังงานสูง พลาสมาทําให้เกิดการกระตุ้นผิวและล้างพิษผ่านปฏิกิริยาทางกายภาพและเคมี, ปรับปรุงคุณสมบัติพื้นผิวของวัสดุรวมถึงสัดส่วนการขัดแย้ง, การติดแน่น, และความรักน้ํา
ผลลัพธ์ของการทําความสะอาดพลาสมา
เทคโนโลยีการทําความสะอาดพลาสมา ใช้คุณสมบัติของพลาสมาในอุณหภูมิต่ํา เพื่อทําความสะอาดผิวของวัสดุทางเคมีและทางกายภาพและทําให้การถักขีดได้แม่นยํา.
การทําความสะอาดพื้นผิวและการเปิดตัว
การจัดตั้งกลุ่มปฏิบัติงาน
การนําก๊าซที่มีปฏิกิริยาเข้าไปในก๊าซที่ปล่อยออกมา สร้างปฏิกิริยาทางเคมีที่ซับซ้อนบนพื้นผิวของวัสดุที่ทํางาน สร้างกลุ่มฟังก์ชันใหม่ เช่น ไฮโดรคาร์บิล อมิโดเจนและคาร์บ็อกซิล ที่เพิ่มกิจกรรมบนผิว.
การฉลากพลาสมา
การถักพลาสมากําจัดสารก๊าซลอยที่เกิดจากการสร้างพลาสมาจากก๊าซที่คัดเลือกและวัสดุพื้นผิวที่แข็งแรงที่มีปารามิเตอร์พลาสมาที่ส่งผลต่อประสิทธิภาพการกะทะอย่างสําคัญ.
กระบวนการทําความสะอาดพลาสมา
ข้อ ดี ของ การ ทํา ความ สะอาด ด้วย พลาสมา
- ตัวแทนที่ไม่เป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อม สําหรับการทําความสะอาดแบบชื้นแบบดั้งเดิม (ไม่รวม VOC)
- ค่าดําเนินงานต่ํา โดยใช้ก๊าซเป็นสื่อปฏิกิริยา (ออกซิเจน)
- ระดับการใช้งานที่กว้างขวาง โดยไม่มีการแบ่งแยกสิ่งแวดล้อม
- ประสิทธิภาพในการทําความสะอาดสูง พร้อมความสามารถในการอัตโนมัติ
- การกําจัดสกปรกพร้อมกันและการเสริมคุณสมบัติพื้นผิว
การเปรียบเทียบผลงาน
การวัดมุมสัมผัสจะกําหนดความชื้นของของเหลวบนพื้นผิวที่แข็งแรง มุมต่ํากว่า 90 ° แสดงว่าพื้นผิว hydrophilic ด้วยความชื้นที่ดีกว่าที่มุมเล็ก ๆขณะที่มุมมากกว่า 90 ° แสดงถึงลักษณะของไฮโดรโฟบิค.
การวัดค่าไดน์ประเมินความสามารถในการผูกผิวของวัสดุในการพิมพ์, การเคลือบ, การเคลือบและการปั่นค่าไดน์ที่สูงกว่าแสดงให้เห็นถึงความสามารถในการผสมผสานที่ดีกว่ากับวัสดุอื่น ๆ.
การใช้งานทั่วไป
การปรับปรุงพื้นผิวของวัสดุพอลิเมอร์เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติการผูก
การกําจัดซากออกไซด์จากองค์ประกอบอิเล็กทรอนิกส์ เพื่อเพิ่มคุณภาพและประสิทธิภาพการผูก
การกําจัดสารปนเปื้อนทางอินทรีย์จากชั้นรองแก้ว
การกําจัดน้ํามันบนผิวโลหะ
การปรับปรุงการทําความสะอาดกราเฟนและผง
การเชื่อมต่อที่ทํางานบนพื้นผิว PDMS
การประกันคุณภาพและบริการ
การรับประกันครบวงจร 1 ปี พร้อมการสนับสนุนทางเทคนิคตลอดระยะเวลาการรับประกัน
- เอกสารทางเทคนิคครบครัน รวมถึงคู่มือการใช้งาน การใช้งาน และการบํารุงรักษา พร้อมแผนวงจรวงจรก๊าซ และเส้นท่อ
- คู่มือการเตรียมการติดตั้งรายละเอียด
- การฝึกอบรมจากระยะไกลที่ครอบคลุมการใช้งานปกติ การซ่อมแซม การบํารุงรักษา การวิเคราะห์ปัญหา และขั้นตอนฉุกเฉิน
- การสนับสนุนทางเทคนิคและเอกสารรับประกัน พร้อมข้อมูลติดต่อ