logo
Shanghai Liangui Technology Co., Ltd.
อ้างอิง
บ้าน > ผลิตภัณฑ์ >
อุปกรณ์ฉีดพลาสติก
>
เครื่องอบผิวด้วยพลาสมาสุญญากาศสแตนเลส 5 ลิตร ปริมาตร 316 พร้อมหน้าจอสัมผัส PLC สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์

เครื่องอบผิวด้วยพลาสมาสุญญากาศสแตนเลส 5 ลิตร ปริมาตร 316 พร้อมหน้าจอสัมผัส PLC สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์

รายละเอียดสินค้า:
สถานที่กำเนิด: จีน
ชื่อแบรนด์: LianGui
ได้รับการรับรอง: CE
หมายเลขรุ่น: TS-PL05
ข้อมูลรายละเอียด
สถานที่กำเนิด:
จีน
ชื่อแบรนด์:
LianGui
ได้รับการรับรอง:
CE
หมายเลขรุ่น:
TS-PL05
ชื่อสินค้า:
เครื่องบำบัดผิวพลาสมาสูญญากาศขนาดเล็ก
หมายเลขรุ่น:
TS-PL05
วัสดุโพรง:
316 สแตนเลส
ความถี่ไฟฟ้า:
40KHz/13.56MHz
ปริมาณ:
5l
พลัง:
0-500W (ปรับได้)
ขนาดโพรง:
เส้นผ่านศูนย์กลาง 150*280MM
ขนาดโดยรวม:
600(ย)*600(ก)*500(ส)มม
เน้น:

High Light

เน้น:

แม่พิมพ์ฉีดพลาสม่าอุปกรณ์การรักษาพื้นผิว

,

เครื่องรักษาพื้นผิวอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์

,

เครื่องทำความสะอาดพลาสม่า 5 ลิตร

ข้อมูลการซื้อขาย
จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ:
1
ราคา:
4000-10000USD per pcs
รายละเอียดการบรรจุ:
บรรจุภัณฑ์ไม้อัดปกติ
เวลาการส่งมอบ:
7-15 วัน
เงื่อนไขการชำระเงิน:
ที/ที, เวสเทิร์นยูเนี่ยน
สามารถในการผลิต:
50-100 ชิ้นต่อเดือน
คําอธิบายสินค้า
อุปกรณ์บํารุงผิวของหม้อฉีดพลาสมา
เครื่องทําความสะอาดพลาสมาที่ทันสมัยที่ออกแบบมาสําหรับอุตสาหกรรมครึ่งตัวนําและอุตสาหกรรมออฟโตอิเล็กทรอนิกส์มีเทคโนโลยีพลาสมาแกรนด์เยอรมันและวิศวกรรมความแม่นยําสําหรับการปฏิบัติการด้านผิวที่ดีกว่า.
ภาพรวมสินค้า
Small vacuum plasma cleaning machine for semiconductor industry
เครื่องทําความสะอาดพลาสมาแบบกระจกกระจกนี้ ใช้เทคโนโลยีการเชื่อมต่อแบบอัดแรง และดีเยี่ยมในการแยกท่อไมโครเวฟและส่วนประกอบเหมาะสําหรับการแปรรูปผลิตภัณฑ์ที่อ่อนไหวที่ต้องการมาตรฐานความสะอาดสูง, มันรักษาพลาสติก, วัสดุชีวเคมี, PDMS, แก้ว, เซมคอนดักเตอร์โลหะ, เซรามิค, สารประกอบ, โพลิเมอร์ และวัสดุอื่น ๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อให้เกิดการทําความสะอาดพื้นผิว, การฆ่าเชื้อ,การเสริมความสามารถในการชื้น, การปรับปรุงคุณสมบัติพื้นผิว และความแข็งแรงในการผูกพันที่ดีขึ้น
ลักษณะสําคัญ
  • ปรับปรุงให้เหมาะกับการผลิตขนาดเล็กและการนําไปใช้งานในงานวิจัยวิทยาศาสตร์
  • การออกแบบที่คอมแพคต์และใช้งานและบํารุงรักษาง่าย
  • เทคโนโลยีพลาสมาแกรนด์เยอรมนีเพื่อการทํางานที่น่าเชื่อถือ
  • โครงสร้างที่ทนทานต่อการกัดกร่อน สแตนเลส 316 นําเข้า
  • การควบคุมการไหลของความแม่นยําด้วยวาล์วเข็มที่นําเข้า
  • ช่องทางก๊าซปฏิกิริยาแบบสองกระบวนการ สําหรับการใช้งานหลากหลาย
  • ตัวเลือกในการปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะเจาะจง
รายละเอียดเทคนิค
ปริมาตร รายละเอียด
ระดับความว่าง 30Pa-100Pa
การไหลของก๊าซ 0-100ml/s
เวลาในการทําความสะอาด ปรับได้ (1-9999s)
โหมดการเย็น ระบบเย็นอากาศ
ช่องทางก๊าซ ก๊าซทํางาน 2 ด้าน (อาร์กอน ไฮโดรเจน ออกซิเจน ไนโตรเจน อากาศ เป็นต้น)
ระบบควบคุม PLC + หน้าจอสัมผัส
อุณหภูมิช่องว่าง < 50 °C
ปั๊มดูดฝุ่น ปั๊มน้ํามัน / ปั๊มแห้ง (ไม่จําเป็น)
พลังงาน AC220V ((± 10V)
อุปกรณ์พิเศษสามารถปรับแต่งได้ตามรูปแบบวัสดุ, ขนาด, และความต้องการความจุในการผลิตที่แตกต่างกัน
ส่วนประกอบของอุปกรณ์
ระบบทําความสะอาดพลาสมาประกอบด้วย 5 ส่วนประกอบหลัก:
  • ห้องปฏิกิริยา:ประกอบด้วยห้องว่างและอิเล็กทรอด ให้พื้นที่ปฏิกิริยาพลาสมาสําหรับการประมวลผลของวัตถุ
  • ระบบสูญเสีย:ประกอบด้วยเครื่องวัดระยะว่าง, ปั๊มระยะว่าง, และท่อเพื่ออพยพอากาศและรักษาระดับระยะว่างที่ดีที่สุด
  • ระบบการปล่อย:จําหน่ายพลังงานเพื่อกระตุ้นการประกอบแก๊สปฏิกิริยา และผลิตพลาสมาที่ต้องการ
  • ระบบควบคุมอิเล็กทรอนิกส์:ควบคุมการทํางานของอุปกรณ์ตามปารามิเตอร์กระบวนการที่ดีที่สุดและรักษาความมั่นคง
  • ระบบควบคุมการไหลของน้ําดื่ม:ลักษณะของเครื่องวัดการไหลผ่านและซอลีนอยด์วาล์วสําหรับการควบคุมการไหลผ่านของก๊าซที่แม่นยําและการบํารุงรักษาความว่าง
ขั้นตอนการดําเนินงาน
  1. เปิดประตูห้องสูญเปล่า วางวัสดุสําหรับการประมวลผล และปิดประตูอย่างมั่นคง
  2. เริ่มใช้งานสวิตช์พลังงานหลัก และตั้งค่าปารามิเตอร์ผ่านอินเตอร์เฟซจอสัมผัส
  3. อุปกรณ์ดําเนินการโดยอัตโนมัติปริมาตรที่กําหนดไว้ (ระยะว่าง → การรับอากาศ → การปล่อยอากาศ → เต็ม)
  4. สัญญาณบัซเซอร์เสร็จสิ้นวงจรการประมวลผล
  5. เปิดประตูห้องและเอาของที่ผ่านการประมวลผล
Plasma cleaning machine operation demonstration
หลักการของเทคโนโลยีพลาสมา
การนําเสนอพลาสมา
พลาสมาเป็นภาวะที่สี่ของวัตถุ ร่วมกับของแข็ง น้ําเหลว และก๊าซ โดยใช้อนุภาคพลังงานสูง พลาสมาทําให้เกิดการกระตุ้นผิวและล้างพิษผ่านปฏิกิริยาทางกายภาพและเคมี, ปรับปรุงคุณสมบัติพื้นผิวของวัสดุรวมถึงสัดส่วนการขัดแย้ง, การติดแน่น, และความรักน้ํา
Plasma state of matter illustration
ผลลัพธ์ของการทําความสะอาดพลาสมา
เทคโนโลยีการทําความสะอาดพลาสมา ใช้คุณสมบัติของพลาสมาในอุณหภูมิต่ํา เพื่อทําความสะอาดผิวของวัสดุทางเคมีและทางกายภาพและทําให้การถักขีดได้แม่นยํา.
การทําความสะอาดพื้นผิวและการเปิดตัว
Material surface cleaning and activation process
การจัดตั้งกลุ่มปฏิบัติงาน
การนําก๊าซที่มีปฏิกิริยาเข้าไปในก๊าซที่ปล่อยออกมา สร้างปฏิกิริยาทางเคมีที่ซับซ้อนบนพื้นผิวของวัสดุที่ทํางาน สร้างกลุ่มฟังก์ชันใหม่ เช่น ไฮโดรคาร์บิล อมิโดเจนและคาร์บ็อกซิล ที่เพิ่มกิจกรรมบนผิว.
Chemical functional group formation diagram
การฉลากพลาสมา
การถักพลาสมากําจัดสารก๊าซลอยที่เกิดจากการสร้างพลาสมาจากก๊าซที่คัดเลือกและวัสดุพื้นผิวที่แข็งแรงที่มีปารามิเตอร์พลาสมาที่ส่งผลต่อประสิทธิภาพการกะทะอย่างสําคัญ.
Plasma etching process illustration
กระบวนการทําความสะอาดพลาสมา
Plasma cleaning process flow diagram
ข้อ ดี ของ การ ทํา ความ สะอาด ด้วย พลาสมา
  • ตัวแทนที่ไม่เป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อม สําหรับการทําความสะอาดแบบชื้นแบบดั้งเดิม (ไม่รวม VOC)
  • ค่าดําเนินงานต่ํา โดยใช้ก๊าซเป็นสื่อปฏิกิริยา (ออกซิเจน)
  • ระดับการใช้งานที่กว้างขวาง โดยไม่มีการแบ่งแยกสิ่งแวดล้อม
  • ประสิทธิภาพในการทําความสะอาดสูง พร้อมความสามารถในการอัตโนมัติ
  • การกําจัดสกปรกพร้อมกันและการเสริมคุณสมบัติพื้นผิว
การเปรียบเทียบผลงาน
การวัดมุมสัมผัสจะกําหนดความชื้นของของเหลวบนพื้นผิวที่แข็งแรง มุมต่ํากว่า 90 ° แสดงว่าพื้นผิว hydrophilic ด้วยความชื้นที่ดีกว่าที่มุมเล็ก ๆขณะที่มุมมากกว่า 90 ° แสดงถึงลักษณะของไฮโดรโฟบิค.
Contact angle measurement comparison
การวัดค่าไดน์ประเมินความสามารถในการผูกผิวของวัสดุในการพิมพ์, การเคลือบ, การเคลือบและการปั่นค่าไดน์ที่สูงกว่าแสดงให้เห็นถึงความสามารถในการผสมผสานที่ดีกว่ากับวัสดุอื่น ๆ.
Dyne value measurement comparison
การใช้งานทั่วไป
การปรับปรุงพื้นผิวของวัสดุพอลิเมอร์เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติการผูก
Polymer material surface modification
การกําจัดซากออกไซด์จากองค์ประกอบอิเล็กทรอนิกส์ เพื่อเพิ่มคุณภาพและประสิทธิภาพการผูก
Electronic component oxide removal
การกําจัดสารปนเปื้อนทางอินทรีย์จากชั้นรองแก้ว
Glass substrate cleaning
การกําจัดน้ํามันบนผิวโลหะ
Metal surface oil removal
การปรับปรุงการทําความสะอาดกราเฟนและผง
Graphene powder cleaning
การเชื่อมต่อที่ทํางานบนพื้นผิว PDMS
PDMS surface activation
การประกันคุณภาพและบริการ
การรับประกันครบวงจร 1 ปี พร้อมการสนับสนุนทางเทคนิคตลอดระยะเวลาการรับประกัน
  • เอกสารทางเทคนิคครบครัน รวมถึงคู่มือการใช้งาน การใช้งาน และการบํารุงรักษา พร้อมแผนวงจรวงจรก๊าซ และเส้นท่อ
  • คู่มือการเตรียมการติดตั้งรายละเอียด
  • การฝึกอบรมจากระยะไกลที่ครอบคลุมการใช้งานปกติ การซ่อมแซม การบํารุงรักษา การวิเคราะห์ปัญหา และขั้นตอนฉุกเฉิน
  • การสนับสนุนทางเทคนิคและเอกสารรับประกัน พร้อมข้อมูลติดต่อ

ผลิตภัณฑ์คล้ายกัน